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故障現(xiàn)象

設(shè)備在工作中出現(xiàn)曝光中斷，并提示高壓嚴(yán)重出錯(cuò)。重啟機(jī)器后，做曝光預(yù)熱過程中報(bào)錯(cuò)：“General error message”。
故障分析與排除

根據(jù)報(bào)錯(cuò)，首先檢查高壓系統(tǒng)，

1）打開配電柜，觀察有關(guān)高壓部分的空氣開關(guān)和保險(xiǎn)絲都正常。

2）測量高壓陽極模塊（APM） 和高壓陰極模塊（CPM）的數(shù)據(jù)都正常，高壓曝光控制板（Rhost）的指示燈也正常。

3）然后進(jìn)入系統(tǒng)的調(diào)試模式，用低條件（80 kV，20 mA）進(jìn)行短時(shí)間曝光。

4）查看實(shí)際的kV 和mA 值，發(fā)現(xiàn)kV 值基本正常，但是陽極和陰極的電流不相等，陰極電流很小。

可以發(fā)現(xiàn)實(shí)際通過球管燈絲的電流幾乎為零。取下球管陰極高壓插頭，用萬用表測到燈絲變壓器阻值很小，球管燈絲阻值為無窮大，基本可以認(rèn)定是球管燈絲斷了。

向廠家購買球管并進(jìn)行更換（需注意更換球管時(shí)，連接球管正負(fù)極的兩根高壓電纜線，這兩根高壓電纜線拆卸下來后需要用干凈的塑料袋子裝好，防止有灰塵進(jìn)入）。并在廠家工程師的指導(dǎo)下進(jìn)行球管的順應(yīng)性校準(zhǔn)（tube adaptation）。

現(xiàn)流程如下：

1）Grud Voltage Entry（電壓校正）

2）Filiament Calibration（燈絲校正）

3）Rotal Balance Test（旋轉(zhuǎn)平衡測試）

4） Long TC（球管長時(shí)間的曝光，高條件訓(xùn)練）

5） XRT Z-mechanical Calibration（球管 Z 軸方向機(jī)械調(diào)整，在此之前需要做眼模定位）

6） Plance Z-mechanical Calibration（ 前準(zhǔn)直器Z 軸方向機(jī)械校正）

7） XRT X-mechanical Calibration（球管X 軸方向機(jī)械調(diào)整）

8）XRT FS Width Calibration（焦點(diǎn)寬度定標(biāo)）

9）XRT DFS Position Calibration（動態(tài)焦點(diǎn)校正定位）

10）XRT SFS Position Calibration（靜態(tài)焦點(diǎn)校正定位）

11）Ultrahigh RES Comn Align Calibration（ 超高分辨力準(zhǔn)直器校正）

12） AirCalibration（ 空氣校正）

13）Phantom Calibration（ 水模校正）

所有步驟完成后，重啟機(jī)器，球管預(yù)熱正常，能進(jìn)行正常掃描操作，故障排除。